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我是菜鳥

2020-05-02 11:17

光刻機(jī)投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較

摘要：本文分析了光刻機(jī)中采用的幾種投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式，比較了各自的優(yōu)缺點(diǎn)，指出目前光刻機(jī)中采用全折射投影物鏡作為主流結(jié)構(gòu)型式的原因。

關(guān)鍵詞：光刻機(jī)；投影物鏡；全折射型；折反射型

liaow	2020-05-03 21:56
光刻機(jī)近年來很火啊，學(xué)習(xí)哈。

bmw0501	2020-05-06 09:14
感謝分享

420200590	2020-05-17 15:25
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

420200590	2020-05-17 15:26
謝謝分享

江gengen	2020-05-17 16:34
下載了

夜華	2020-05-19 10:33
感謝。。

龍濤	2020-05-19 14:51
謝謝分享

gandongdi226	2020-05-19 17:31
學(xué)習(xí)牛人的知識(shí) rwgj]

Optic_Stud	2020-05-20 13:57
幾年來的熱點(diǎn) 學(xué)習(xí)一下

雨滿一湖煙	2020-05-21 10:57
看看學(xué)習(xí)牛人的知識(shí)

波波愛吃大米飯	2020-05-21 11:32
看看投影結(jié)構(gòu)

hit1142130127	2020-05-21 21:39
光刻機(jī)不是只能引進(jìn)么？被技術(shù)壟斷了

opt-nicky	2020-05-24 18:30
看看里面是啥？

rmsh	2020-05-25 08:24
光刻機(jī)是芯片行業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備

木子笑月	2020-12-26 17:41
幾年來的熱點(diǎn) 學(xué)習(xí)一下

保護(hù)我芳	2021-03-16 15:32
FENXIDUDAO

光電青年	2021-03-16 15:47
先下載下來，等我把手頭工作做完再看看

好好學(xué)習(xí)02	2022-03-08 10:22
感謝分享

jabil	2022-03-08 13:07
nice to see

xy1916794409	2022-03-08 13:34
下載了 h.l.da1#

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