| 探針臺 |
2020-05-11 14:27 |
晶圓針測制程介紹
《晶圓針測制程介紹》 ZC?~RXL(
晶圓針測（Chip Probing；CP）之目的在于針對芯片作電性功能上的 測試（Test），使 IC 在進入構(gòu)裝前先行過濾出電性功能不良的芯片，以避免對不良品增加制造成本。 0~U#DTx0
半導體制程中，針測制程只要換上不同的測試配件，便可與測試制程共享相同的測試機臺（Tester）。所以一般測試廠為提高測試機臺的使用率，除了 提供最終測試的服務亦接受芯片測試的訂單。以下將此針測制程作一描述。 }j/\OY _&
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上圖為晶圓針測之流程圖，其流程包括下面幾道作業(yè)： A (2 0+
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（1）晶圓針測并作產(chǎn)品分類（Sorting） 4|?(LHBD)
晶圓針測的主要目的是測試晶圓中每一顆晶粒的電氣特性，線路的 連接，檢查其是否為不良品，若為不良品，則點上一點紅墨水，作為識別之用。除此之外，另一個目的是測試產(chǎn)品的良率，依良率的高低來判斷晶圓制造的過程是否有誤。良品率高時表示晶圓制造過程一切正常， 若良品率過低，表示在晶圓制造的過程中，有某些步驟出現(xiàn)問題，必須盡快通知工程師檢查。 ]3 "0#Y
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（2）雷射修補（Laser Repairing） LeCc`x,5
雷射修補的目的是修補那些尚可被修復的不良品（有設計備份電路 在其中者），提高產(chǎn)品的良品率。當晶圓針測完成后，擁有備份電路的產(chǎn)品會與其在晶圓針測時所產(chǎn)生的測試結(jié)果數(shù)據(jù)一同送往雷射修補機中 ，這些數(shù)據(jù)包括不良品的位置，線路的配置等。雷射修補機的控制計算機可依這些數(shù)據(jù)，嘗試將晶圓中的不良品修復。 ``/L18
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（3）加溫烘烤（Baking） :Qa*-)rs
加溫烘烤是針測流程中的最后一項作業(yè)，加溫烘烤的目的有二： " 9;
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