| 探針臺 |
2020-05-13 16:44 |
漏電定位技術(shù)微光顯微鏡EMMI
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漏電定位技術(shù)微光顯微鏡EMMI #5 uOx (>
對于失效分析而言，微光顯微鏡是一種相當(dāng)有用，且效率極高的分析工具，主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中，EHP Recombination會放出光子，例如：在PN Junction加偏壓，此時N的電子很容易擴散到P， 而P的空穴也容易擴散至N，然后與P端的空穴做EHP Recombination。 Q,Eo mt
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偵測到亮點之情況 |N]
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