探針臺(tái) |
2020-05-13 16:49 |
芯片測(cè)試術(shù)語(yǔ)解釋
芯片測(cè)試術(shù)語(yǔ)解釋CP是把壞的Die挑出來(lái),可以減少封裝和測(cè)試的成本?梢愿苯拥闹Wafer 的良率。FT是把壞的chip挑出來(lái);檢驗(yàn)封裝的良率。 RNo~}# 現(xiàn)在對(duì)于一般的wafer工藝,很多公司多把CP給省了;減少成本。 }Y"vUl_I2 CP對(duì)整片Wafer的每個(gè)Die來(lái)測(cè)試 _]v@Dq VP 而FT則對(duì)封裝好的Chip來(lái)測(cè)試。 8S`
j6 CP Pass 才會(huì)去封裝。然后FT,確保封裝后也Pass。 vw6>eT WAT是Wafer Acceptance Test,對(duì)專(zhuān)門(mén)的測(cè)試圖形(test key)的測(cè)試,通過(guò)電參數(shù)來(lái)監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定; {TXfi'\ CP是wafer level的chip probing,是整個(gè)wafer工藝,包括backgrinding和backmetal(if need),對(duì)一些基本器件參數(shù)的測(cè)試,如vt(閾值電壓),Rdson(導(dǎo)通電阻),BVdss(源漏擊穿電壓),Igss(柵源漏電流),Idss(漏源漏電流)等,一般測(cè)試機(jī)臺(tái)的電壓和功率不會(huì)很高; RkZyqt
@+ FT是packaged chip level的Final Test,主要是對(duì)于這個(gè)(CP passed)IC或Device芯片應(yīng)用方面的測(cè)試,有些甚至是待機(jī)測(cè)試; -}1TT@ Pass FP還不夠,還需要做process qual 和product qual r$:hiE@ CP 測(cè)試對(duì)Memory來(lái)說(shuō)還有一個(gè)非常重要的作用,那就是通過(guò)MRA計(jì)算出chip level 的Repair address,通過(guò)Laser Repair將CP測(cè)試中的Repairable die 修補(bǔ)回來(lái),這樣保證了yield和reliability兩方面的提升。
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