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2020-08-24 23:33 |
用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì)
摘要：均勻照明是投影光刻機(jī)中實(shí)現(xiàn)光刻線條高度均一性的重要條件。采用微透鏡陣列作為照明勻光器件，能夠 在實(shí)現(xiàn)矩形照明光斑的同時(shí)獲得極高的遠(yuǎn)場(chǎng)分布均勻性�；谖⑼哥R陣列現(xiàn)有的加工工藝，設(shè)計(jì)出二維方向分開 的柱面微透鏡陣列，并通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)，克服了微透鏡之間的接縫在遠(yuǎn)場(chǎng)光場(chǎng)處產(chǎn)生的中心亮線。仿真分析表明，所 設(shè)計(jì)的微透鏡陣列的遠(yuǎn)場(chǎng)分布不均勻性達(dá)到0.85％。 P2>:p%Z
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關(guān)鍵詞：幾何光學(xué)；微柱面鏡陣列；光學(xué)設(shè)計(jì)；照明均勻性
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