探針臺(tái) |
2020-09-18 11:52 |
超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域
超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域 3v%V\kO=F 超聲波掃描顯微鏡含義: wg=ge]E5 超聲波掃描顯微鏡,英文名是:Scanning Acoustic Microscope,簡稱SAM,由于它的主要工作模式是C模式,因此也簡稱:C-SAM或SAT。 <J QvuC ~O}LAzGb 頻率高于20KHz的聲波被稱為超聲波。超聲波掃描顯微鏡是理想的無損檢測方式,廣泛的應(yīng)用在物料檢測(IQC)、失效分析(FA)、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。檢測電子元器件、LED、金屬基板的分層、裂紋等缺陷(裂紋、分層、空洞等);通過圖像對比度判別材料內(nèi)部聲阻抗差異、確定缺陷形狀和尺寸、確定缺陷方位。 uN1O(s _YW1Mk1 超聲波掃描顯微鏡原理 !1}A\S 通過發(fā)射高頻超聲波傳遞到樣品內(nèi)部,在經(jīng)過兩種不同材質(zhì)之間界面時(shí),由于不同材質(zhì)的聲阻抗不同,對聲波的吸收和反射程度的不同,進(jìn)而采集的反射或者穿透的超聲波能量信息或者相位信息的變化來檢查樣品內(nèi)部出現(xiàn)的分層、裂縫或者空洞等缺陷。 J_A5,K*r| rBZ0(XSZQ 超聲波掃描顯微鏡測試分類: (TV ye4Z 按接收信息模式可分為反射模式與透射模式。 7x^P
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