白光干涉儀
前段時間做了一套大視場白光干涉儀，不是三維形貌檢測版本。只能用來看白光干涉條紋，如果會根據(jù)干涉條紋來判讀表面形貌的話，那么理解起來應(yīng)該不會太難。最大可檢測11mm視場區(qū)域，表面最低反射率1%，直接在電腦上顯示干涉條紋圖像。 RKi11z
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