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cyqdesign 2020-11-08 21:37

ASML中國展示DUV光刻機:可生產(chǎn)7nm

近日,ASML此次也帶來了其整體光刻解決方案,包括先進控制能力的光刻機臺計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術(shù)。ASML中國區(qū)總裁沈波接受媒體采訪時表示,該公司對向中國出口集成電路光刻機持開放態(tài)度,對全球客戶均一視同仁,在法律法規(guī)框架下,都將全力支持。 \Tz|COG5h\  
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沈波透露,自30年前進入中國市場以來,ASML已提供了全面的技術(shù)和能力來滿足中國客戶的需求。在遵守法律法規(guī)的同時,ASML全力支持客戶和中國集成電路行業(yè)的發(fā)展。 ]t 0o%w  
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被問及有沒有向中國出口EUV光刻機的打算,EUV光刻機還在等荷蘭政府的出口許可證。ASML必須要在遵守法律法規(guī)的前提下進行光刻機出口!暗覀儗ο蛑袊隹诠饪虣C是保持很開放態(tài)度的,我們對全球客戶都一視同仁,只要是我們能夠提供的技術(shù)和設(shè)備,我們都會全力支持。” ) 9