cyqdesign |
2020-12-25 11:17 |
東京電子推新型半導體清洗機 可防芯片結構遭破壞
據(jù)日本媒體報道,日本大型半導體制造設備廠商東京電子宣布,將于2021年1月發(fā)售清洗機“CELLESTA SCD”,該產(chǎn)品帶干燥功能,可提高最尖端半導體的成品率。通過增加使用“超臨界流體”(基本沒有表面張力)的干燥工序,防止半導體上的微細結構被破壞。這款清洗機將用于“微細化”和“多層化”的最尖端半導體制造,“微細化”是縮小電路線寬,“多層化”是在高度方向上層疊電路。 };{V]f 0 $J]VY;C! 據(jù)《日本經(jīng)濟新聞》網(wǎng)站12月18日報道,新產(chǎn)品在東京電子的枚葉式清洗機CELLESTA系列中配備了超臨界干燥專用反應室,將用于制造結構不斷微細化、復雜化的邏輯半導體及個人電腦等使用的半導體存儲器DRAM。 6@ B_3y T
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