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2021-01-13 12:43 |
先進光學(xué)元件微納制造與精密檢測技術(shù)
《先進光學(xué)元件微納制造與精密檢測技術(shù)》以非球面光學(xué)元件的制造技術(shù)為代表，完整闡述了以超精密、確定性為特征的先進光學(xué)制造系統(tǒng)；重點論述了超精密磨削成形理論、磨削加工關(guān)鍵技術(shù)以及超精密機床設(shè)計技術(shù)；圍繞實現(xiàn)確定性拋光，詳細闡述了氣囊拋光原理以及進動運動控制技術(shù)；介紹了基于坐標(biāo)測量和干涉測量的非球面面形誤差測量技術(shù)，加工軌跡規(guī)劃原理和數(shù)據(jù)處理方法，以及不同加工階段光學(xué)元件亞表面缺陷的檢測方法。 VJS8)oI~
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《先進光學(xué)元件微納制造與精密檢測技術(shù)》內(nèi)容豐富，理論分析深入，既涵蓋了國內(nèi)外先進光學(xué)制造技術(shù)領(lǐng)域的研究進展，又概括了作者多年積累的該領(lǐng)域科學(xué)研究成果，對于從事此方面研究的科技人員具有重要的參考價值和指導(dǎo)意義。 /Ju;MeE9
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第1章 緒論 +}a ]GTBgA
1.1 先進光學(xué)元件的應(yīng)用及制造技術(shù)要求 ? C/Te)
1.1.1 先進光學(xué)元件的特點 `HBf&Z
1.1.2 先進光學(xué)元件的應(yīng)用 I&YSQK:b
1.1.3 先進光學(xué)元件的制造技術(shù)要求 B2O}
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