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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 微晶玻璃鍍膜AF,摩擦測(cè)試NG! [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁(yè)]

chenenlin 2021-03-15 23:03

微晶玻璃鍍膜AF,摩擦測(cè)試NG!

有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn),歡迎大家討論,同鍋鍍膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/藍(lán)寶石,測(cè)試結(jié)果都OK [YHvyfk~_  
設(shè)備試過濺射設(shè)備(新克隆/光馳)/蒸鍍(光馳/新克隆/聯(lián)合真空) pnxjuDN7}x  
AF克藥試用很多種類,沒有改善效果。 Zv7@  
初步分析是摩擦后打底層脫落,打底材料試過P藥/AL203/SIO2。 dsR{ P,!  
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI ~BERs;4  
現(xiàn)懷疑是清洗導(dǎo)致表面附著--硅酸鋰和硅酸鈉(希望大家給些清洗建議),驗(yàn)證不清洗比清洗后效果要好。 _a+0LTo".  
有沒有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)的,歡迎探討! }(a y(  
p$?c>lim  
ouyuu 2021-03-19 20:16
如果是基底問題的話,你蒸鍍前用離子源(AR)使勁轟個(gè)十五分鐘。 9`4h"9dO  
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm,怎么都不會(huì)有問題了。 >:W)9o  
Tb