| hycsystembella |
2021-04-08 11:57 |
MEMS光開關(guān)的工作原理及應(yīng)用
文章導(dǎo)讀 xr2:bu
- 什么是光開關(guān)？
- 簡述MEMS光開關(guān)的工作原理
- MEMS光開關(guān)的結(jié)構(gòu)
- MEMS光開關(guān)與機械式光開關(guān)
- MEMS光開關(guān)具有哪些優(yōu)勢
- MEMS光開關(guān)可應(yīng)用于哪些領(lǐng)域
- 全光網(wǎng)絡(luò)中的MEMS光開關(guān)
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什么是光開關(guān)？ U
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光開關(guān)是在一定范圍內(nèi)將光信號從一個光通道轉(zhuǎn)換成另一個光通道的器件，具有一個或多個可選擇的傳輸窗口，是實現(xiàn)光交叉連接、 光分插復(fù)用、網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控以及自愈保護(hù)等功能的核心器件。 M:$nL
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其實現(xiàn)技術(shù)多種多樣，包括：機械光開關(guān)、熱光開關(guān)、聲光開關(guān)、電光開關(guān)、磁光開關(guān)、液晶光開關(guān)和MEMS光開關(guān)等。傳統(tǒng)的以電為核心的開關(guān)逐漸的不能滿足高速大容量光通信的需求， 慢慢的市場上出現(xiàn)了全光開關(guān)。其中MEMS光開關(guān)具有尺寸小、功耗低和擴(kuò)展性好的特點，因而得到廣泛的應(yīng)用。 6 ;*(6$;
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簡述MEMS光開關(guān)的工作原理 !R@4tSu
什么是MEMS？MEMS （Micro-Electro-Mechanical System）是指將微型機械、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路等集于一體的可批量制作的微型器件或系統(tǒng)，微機械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結(jié)構(gòu)上制備了電極，以便通過電子技術(shù)進(jìn)行控制。 /km3L7L%R
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MEMS是一種微電機系統(tǒng)，在制備微機械結(jié)構(gòu)之后，需要以電子技術(shù)進(jìn)行驅(qū)動。典型的驅(qū)動機制包括靜電引力、電磁力、電致伸縮和熱電偶。在MEMS器件的所有驅(qū)動機制中，靜電引力結(jié)構(gòu)因制備簡單、易于控制和低功耗，得到最廣泛的應(yīng)用。 a+i+#*8wm
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MEMS光開關(guān)是在硅晶上刻出若干微小的鏡片，通過靜電力或電磁力的作用，使微鏡陣列產(chǎn)生轉(zhuǎn)動，從而改變輸入光的傳播方向以實現(xiàn)光路通斷的功能。MEMS光開關(guān)切換光波路由是通過外部控制信息以及相應(yīng)的高低電平控制內(nèi)部微鏡片抬升與否來完成的。 N-|Jj?c
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MEMS光開關(guān)的工作原理 gk#rA/x
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一般說來，MEMS光開關(guān)從空間結(jié)構(gòu)上可分成這樣兩種，即2D開關(guān)和3D開關(guān)。 l
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