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中科微星

2021-04-15 17:46

分享空間光調(diào)制器的MEMS技術(shù)應用

空間光調(diào)制器使用具有一個單點探測器、基于光學微機電系統(tǒng) (MEMS) 陣列技術(shù)的全新方法可以克服傳統(tǒng)光譜分析方法中的很多限制。在基于單點探測器的系統(tǒng)中，一個固態(tài)光學MEMS陣列用簡單、空間波長濾波器取代了傳統(tǒng)的電動光柵。