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2021-06-10 17:15 |
上海光機(jī)所在自干涉太極光子篩的高精度哈特曼波前傳感方面取得新進(jìn)展
中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室在古希臘梯子光子篩的基礎(chǔ)上,發(fā)展了另一類多焦的自干涉太極光子篩,實(shí)現(xiàn)了更高精度的哈特曼波前傳感,相關(guān)成果發(fā)表于《工程光學(xué)與激光》(Optics and lasers in Engineering)。 3.#L #tA9`! 基于波前斜率的哈特曼波前傳感技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各類波前測(cè)量領(lǐng)域,如天文學(xué)、人眼、大型激光裝置、激光加工、自適應(yīng)光學(xué)等。盡管諸多技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的相位測(cè)量,但在實(shí)際工況條件下,目前能夠提供給普通客戶且具有高性價(jià)比的商用產(chǎn)品僅有哈特曼波前傳感器和橫向剪切干涉波前傳感器。后者采用了自干涉技術(shù),測(cè)量精度遠(yuǎn)優(yōu)于哈特曼波前傳感器,缺點(diǎn)是測(cè)量口徑無(wú)法與哈特曼波前傳感器相比擬。 i|z=WnF$& M2ex
3m 哈特曼波前傳感由微透鏡陣列和探測(cè)器組成,其測(cè)量精度受限于微透鏡尺寸,而探測(cè)器記錄焦斑的像素稀疏,這一看似缺點(diǎn)卻為更高精度的哈特曼波前傳感提供了一個(gè)改進(jìn)空間。課題組在前期標(biāo)準(zhǔn)太極光子篩基礎(chǔ)上成功構(gòu)造了產(chǎn)生多焦斑的自干涉太極光子篩,以此作為陣列透鏡的子單元,使得子透鏡在探測(cè)器上投影區(qū)內(nèi)的原有單焦斑演化為多焦斑,擴(kuò)展利用了探測(cè)器像素。圖1和圖2給出了探測(cè)器記錄的焦斑陣列以及重構(gòu)的波前,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,測(cè)量精度隨著焦斑數(shù)目的增加而提升,其精度提升的理論值為焦斑數(shù)目的開(kāi)平方。這一思想為其它波前傳感測(cè)量精度的提升或超分辨測(cè)量提供了良好的借鑒意義。 ,N:^4A l
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