| 中科微星 | 2021-06-29 17:31 |
空間光調(diào)制器在激光加工中的應(yīng)用空間光調(diào)制器 空間光調(diào)制器（SLM）是近代光信息處理系統(tǒng)中的器件，它可以對(duì)光束進(jìn)行調(diào)整，并將信息加載于一維或者二維的光學(xué)數(shù)據(jù)場(chǎng)上，能有效的利用光的固有速度、并行性和互連能力，達(dá)到光波調(diào)制的目的，因此空間光調(diào)制器被廣泛應(yīng)用于諸多光學(xué)領(lǐng)域。  空間光調(diào)制器 將空間光調(diào)制器與激光加工技術(shù)結(jié)合起來(lái)，不但可以實(shí)現(xiàn)高效率、靈活的激光加工，還可以改善激光加工中存在的問(wèn)題，如光斑質(zhì)量以及焦深短等等。 02 激光加工 激光是一種強(qiáng)度高、方向性好、單色性好的相干光。它可以通過(guò)透鏡聚焦成直徑為幾十微米到幾微米的極小光斑，該光斑具有極高的能量密度（108~1010W/cm2）。當(dāng)激光照射在工件表面時(shí)，光能被工件吸收并迅速轉(zhuǎn)化為熱能，光斑區(qū)的溫度可達(dá)10000℃以上，使材料熔化甚至氣化，這就是激光加工（LBM）。該技術(shù)是一種非接觸加工方式，主要應(yīng)用于打孔、切割、打標(biāo)、焊接以及表面處理等加工工藝方面。  激光加工示意圖 隨著科技的發(fā)展，激光加工逐漸發(fā)展為連續(xù)激光加工、納秒激光加工以及皮秒/飛秒加工。同時(shí)人們將其應(yīng)用于微納加工領(lǐng)域，來(lái)實(shí)現(xiàn)微納米器件的加工。然而傳統(tǒng)的激光微納加工技術(shù)均采用逐點(diǎn)掃描的加工方式，加工效率無(wú)法滿足實(shí)際生產(chǎn)的高效率需求�？臻g光調(diào)制技術(shù)的提出，為解決該類問(wèn)題提供了思路。空間光調(diào)制技術(shù)以具有靈活可靠的光場(chǎng)分布、可并行加工等優(yōu)勢(shì)逐步應(yīng)用于激光加工技術(shù)，大大提高了加工效率。 | |