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2021-11-12 09:39 |
F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析
激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) m-T@Og r:N =?X`N 應(yīng)用案例概述 @>:V? 5\!t!FL_ 系統(tǒng)細(xì)節(jié) W3Gg<!*Uo 3QSA| 光源 @G'&7-(h* – 綠光二極管 _UP=zW 元件 ;|yd}q=p – 雙軸振鏡掃描儀 r7|_Fm Qf – F-Theta物鏡 #dO8) t 探測(cè)器 vtx3a^ – 場(chǎng)曲和畸變探測(cè)器 \G4L+Q/13 – 光束強(qiáng)度剖面探測(cè)器 JJC YM – 焦點(diǎn)區(qū)域探測(cè)器 z3Id8G&> – 光束參數(shù)探測(cè)器 3(o}ulp
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