| cyqdesign |
2022-01-05 10:06 |
上海光機所在透明導電薄膜的飛秒激光圖案化加工研究方面取得進展
近期，中國科學院上海光學精密機械研究所薄膜光學實驗室在透明導電氧化物（Transparent Conductive Oxides，TCO）薄膜的飛秒激光圖案化加工研究方面取得新進展。研究團隊通過對飛秒激光能量密度的控制實現(xiàn)對薄膜表面形貌的有效調(diào)控，揭示了飛秒激光圖案化加工過程中薄膜表面形貌的激光能量密度依賴規(guī)律及形成機制，并提出了一種簡便而準確的確定飛秒激光工藝參數(shù)的單脈沖激光測量方法。相關(guān)成果發(fā)表在《光學快訊》（Optics Express）上。 t;47(U
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