OptiFDTD應(yīng)用：用于光纖入波導(dǎo)耦合的硅納米錐仿真

~#km0<r?   介紹 +9F#~{v`4a   GJ_)Cl+5E   RGuHXf   在高約束芯片上與亞微米波導(dǎo)上耦合光的兩種主要方法是光柵或錐形耦合器。[1] Zt0%E<C{   耦合器由高折射率比材料組成，是基于具有納米尺寸尖端的短錐形。[2] "t&k{\$\   錐形耦合器實(shí)際上是光纖和亞微米波導(dǎo)之間的緊湊模式轉(zhuǎn)換器。[2] Z3~*R7G8>   錐形耦合器可以是線性[1]或拋物線性[2]過渡。 v/+ }FS=   選擇Silicon-on-insulator（SOI）技術(shù)作為納米錐和波導(dǎo)的平臺(tái)，因?yàn)樗�提供高折射率比，包括二氧化硅層作為光學(xué)緩沖器，并允許與集成電子電路兼容。[2] EAXU{dRV   C|@k+^S