方形晶胞

\3ydNgl   這是一個簡單的二維光柵的案例，它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形結構)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 :j~4mb?$   e}5x6t   光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場強度 S偏振光照明的場矢量 KW'nW   P偏振光照明的場矢量 JtSwbdN   +pSo(e(   后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。 yz0#0YG7   ncadVheKt   參數(shù)掃描 ;\}dQsX   (D[~Z!    Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度： + R6X   <WWZb\"{   在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關系 ?IQDk|<