方形晶胞

u YT$$' S   這是一個(gè)簡(jiǎn)單的二維光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形結(jié)構(gòu))、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 tZKw(<am   /YF:WKr2   光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度 S偏振光照明的場(chǎng)矢量 SFDTHvXu#_   P偏振光照明的場(chǎng)矢量 cAEvv[   !+^'Ej)z   后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。 /+SLq`'u)   D5?8`U m=   參數(shù)掃描 Y6sX|~Zy   S\&3t}_   Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對(duì)入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級(jí)次的強(qiáng)度： %sr- xE   G,|!&=Pe|E   在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個(gè)固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關(guān)系 }A24;'}

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