亚洲AV日韩AV无码污污网站_亚洲欧美国产精品久久久久久久_欧美日韩一区二区视频不卡_丰满无码人妻束缚无码区_久爱WWW成人网免费视频


首頁(yè) -> 登錄 -> 注冊(cè) -> 回復(fù)主題 -> 發(fā)表主題
光行天下 -> 訊技光電&黌論教育 -> 錐形相位掩模的Talbot像 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁(yè)]

infotek 2022-05-18 09:30

錐形相位掩模的Talbot像

在傳統(tǒng)的Talbot光刻中，在光敏層中僅使用一個(gè)圖像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個(gè)圖像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通過(guò)傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）在VirtualLab Fusion中對(duì)具有一層圓錐體的相位掩模進(jìn)行了建模。探測(cè)得到不同的Talbot像，柱狀圖位于主像面上，孔狀圖位于次像面上。 ?6#F9\  
3+uCTn0%  
 }}Kj b  
q; n  
建模任務(wù) YTk"'q-  
oR1HJ2>Z1  
 "dItv#<:}  
結(jié)構(gòu)和材料參數(shù)來(lái)自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) [ e6zCN^t  
 qx;8Hq(E[  
某一位置的Talbot圖樣 ]}za  
fK?/o]vq  
 5dNM:1VoE  
   Bokpvd-c7  
某一位置的Talbot圖樣 Ht,dMt>:  
bZKlQ<sI  
 |({ M8!BS  
Y;uQq-C