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2022-06-26 00:10 |
上海光機所在超寬帶減反射膜性能提升方面取得新進展
近日，中科院上海光機所薄膜光學(xué)實驗室采用傾斜沉積和襯底非連續(xù)梯度旋轉(zhuǎn)技術(shù)，實現(xiàn)SiO2膜層的梯度折射率的精確控制，制備了一種超寬帶、高損傷閾值、厚度均勻的高性能SiO2梯度折射率寬帶減反射膜。相關(guān)成果以“High performance of broadband anti-reflection film by glancing angle deposition”為題發(fā)表在Optical Materials Express。 Z_Jprp{3h
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在各種光學(xué)系統(tǒng)中，任何來自激光窗口或系統(tǒng)透鏡、光柵和碎片屏蔽的外部反射或散射光都會給光束增加空間噪聲，限制系統(tǒng)集中足夠功率的能力。在這些光學(xué)系統(tǒng)中，需要高性能AR膜來減少傳感器系統(tǒng)中探測器和光學(xué)元件的反射。 z1[2.&9D-
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傳統(tǒng)的寬帶減反射膜是使用高低折射率材料交替疊加制備，其能實現(xiàn)的減反射帶寬受限于材料折射率和膜系，很難實現(xiàn)超寬帶范圍內(nèi)減反射效果。在膜層傾斜沉積的情況下，通過精確調(diào)控孔隙率，可以實現(xiàn)空氣和近材料本征折射率范圍內(nèi)的任意折射率，為超寬帶減反射薄膜的研制提供很大的靈活性。然而，由于在傾斜沉積過程中存在明顯的膜厚的不均勻性，極大降低了傾斜沉積制備的薄膜的實用性。 Ci6yH( RE
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