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cyqdesign 2022-06-28 20:57

中科院合肥研究院攻克玻璃微孔陣列制造技術

近期，中科院合肥研究院智能所陳池來課題組李山博士等取得重要技術突破，團隊攻克了高均一性玻璃微孔陣列制造、玻璃致密回流、玻璃微孔金屬高致密填充等技術難題，發(fā)展了一種面向3D先進封裝的玻璃金屬穿孔工藝，可實現(xiàn)高頻芯片、先進MEMS傳感器的低傳輸損耗、高真空晶圓級封裝。 'F~SNIay  
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4英寸玻璃穿孔晶圓
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