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2022-07-06 17:09 |
中科院半導(dǎo)體所在硅基鍺錫中紅外探測器方面獲進(jìn)展
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所集成光電子學(xué)國家重點實驗室成步文研究團(tuán)隊研制出工作在中紅外波段的硅基鍺錫探測器。這是該團(tuán)隊在鍺錫材料外延生長取得進(jìn)展后，在鍺錫光電器件方面取得的又一重要成果。 #q\C"N5ip
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中紅外光子學(xué)在生物傳感、自由空間通信和氣體檢測等領(lǐng)域頗具應(yīng)用前景。隨著中紅外應(yīng)用場景不斷拓展，高集成度、高可靠性、低成本和小尺寸是中紅外光子學(xué)發(fā)展的趨勢。硅基中紅外光電集成技術(shù)利用先進(jìn)成熟的CMOS工藝，將微電子和光電子集成在硅芯片上，可滿足中紅外光子學(xué)發(fā)展的需求。鍺錫是Ⅳ族硅基半導(dǎo)體材料，通過調(diào)節(jié)合金的組分配比，其光學(xué)帶隙可延伸至中波紅外，是制備硅基中紅外光電子器件的理想材料。 )3
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