| szzhongtu5 |
2022-08-09 16:51 |
激光干涉儀在計(jì)量檢定領(lǐng)域的應(yīng)用
激光干涉儀以光波為載體,利用激光作為長度基準(zhǔn),是高精度、高靈敏度的測量儀器。激光干涉儀不僅廣泛用于高端裝備如數(shù)控機(jī)床、激光切割機(jī)、光刻機(jī)等，在計(jì)量檢定領(lǐng)域也能大展身手。 R'R LF
=
dXr=&@ 1
1、測長機(jī)檢定 M$&aNt;
傳統(tǒng)的測長機(jī)示值誤差主要采用量塊進(jìn)行校準(zhǔn)，受環(huán)境因素影響較大，校準(zhǔn)條件要求高，且量程大于1m的測長機(jī)需要分段校準(zhǔn)，效率低，而使用激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)，不僅可以提高效率，還可通過環(huán)境補(bǔ)償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進(jìn)行補(bǔ)償，提高校準(zhǔn)精度。[attachment=113936] mqL&b
| |