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光行天下 -> 訊技光電&黌論教育 -> 錐形相位掩模的Talbot像 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

infotek 2022-10-20 09:12

錐形相位掩模的Talbot像

在傳統(tǒng)的Talbot光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通過傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）在VirtualLab Fusion中對具有一層圓錐體的相位掩模進(jìn)行了建模。探測得到不同的Talbot像，柱狀圖位于主像面上，孔狀圖位于次像面上。 /whaY4__O\  
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建模任務(wù) g"P%sA/E+  
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    結(jié)構(gòu)和材料參數(shù)來自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) A%8 Q}s$<s  
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某一位置的Talbot圖樣 jR/Gd01)  
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某一位置的Talbot圖樣 ZsP