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2022-10-20 15:45 |
寧波材料所在氧化鎵基日盲紫外光電探測器的低溫制備技術(shù)方面取得進(jìn)展
日盲紫外光電探測器在民生（如電網(wǎng)安全監(jiān)測、環(huán)境與生化檢測、森林火災(zāi)告警、醫(yī)學(xué)成像等）領(lǐng)域有重要應(yīng)用，是世界各國競相研發(fā)的焦點(diǎn)。氧化鎵具有寬帶隙（可至4.9 eV）、地殼豐度較高（中國鎵儲(chǔ)量全球第一）、物理化學(xué)性能穩(wěn)定等優(yōu)勢，是理想的日盲（截止波長～280 nm，對(duì)應(yīng)光子能量～4.42 eV）探測有源層材料。目前，氧化鎵日盲紫外探測器已取得一些重要進(jìn)展，但工藝溫度普遍較高。相比外延或多晶薄膜材料，非晶半導(dǎo)體薄膜可低溫、大面積均勻制備。為實(shí)現(xiàn)大面積柔性應(yīng)用，氧化鎵低溫制備技術(shù)的研發(fā)勢在必行。然而，非晶薄膜難以致密化，其微結(jié)構(gòu)和化學(xué)計(jì)量比難以有效調(diào)控，導(dǎo)致氧化鎵有源層內(nèi)載流子濃度和氧空位等缺陷難以調(diào)控，同時(shí)器件的光響應(yīng)度和響應(yīng)時(shí)間也難以協(xié)同提高。 Z=9gok\
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中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所研究團(tuán)隊(duì)近年來一直致力于氧化鎵薄膜及其日盲紫外探測器的制備及其物性的調(diào)控研究。前期，團(tuán)隊(duì)通過溶液法制備了具有較高紫外-可見抑制比的氧化鎵基探測器，其功耗可至pW量級(jí)【Applied Physics Letters 116, 19 (2020)】。 x<1t/o
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