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infotek 2022-11-08 08:29

使用傅里葉模態(tài)法分析閃耀光柵

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可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進(jìn)行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 #m{UrTC  
MD|5 ol9  
#ZYVc|sT+  
    傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) RV5n,J  
Cb9;QzBVA#  
建模任務(wù) $+>M{fg?  
Gcig*5   
59O?_F9  
)FpZPdN+h  
單次FMM仿真結(jié)果 +;#Y]xy:  
DR