ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。
如果蒸發(fā)源在靠門(mén)的位置,那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系,真空也會(huì)影響膜層分布。
你可以試著空抽幾分鐘后再開(kāi)阻蒸 (2022-12-01 21:36)
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