上海光機所在傾斜沉積制備寬帶減反射膜方面取得新進展
近期，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所薄膜光學(xué)實驗室報道了采用傾斜沉積技術(shù)將SiO2薄膜的折射率從1.45調(diào)整到1.15的精確控制，并制備了一種超寬帶的SiO2梯度折射率寬帶減反射膜。相關(guān)成果以“Broadband antireflection film by glancing angle deposition”為題發(fā)表在Optical Materials。 fT. GYvt`
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為了減少光學(xué)元件表面的反射，增加光在工作波段的透過率，獲得更好的光學(xué)性能，寬帶減反射膜被廣泛應(yīng)用于許多光學(xué)系統(tǒng)中。傳統(tǒng)的寬帶增透涂料是采用高、低折射率薄膜疊加制備的，其能實現(xiàn)的減反射帶寬受限于材料折射率和膜系，很難實現(xiàn)超寬帶范圍內(nèi)減反射效果。傳統(tǒng)防反射涂層的另一種替代方法是蛾眼效應(yīng)，它通過蛾眼結(jié)構(gòu)產(chǎn)生亞波長表面浮雕，可以在更寬的波長和角度范圍內(nèi)實現(xiàn)防反射效果，但是浮雕的制備工藝復(fù)雜。而使用傾斜沉積制備薄膜，由于自遮擋效應(yīng)，使得在大沉積角度下膜層是疏松多孔的，薄膜折射率發(fā)生變化，使薄膜折射率可調(diào)，可以實現(xiàn)更寬的減反射增透的效果。 ZcLW8L
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利用這一特性，課題組采用沉積角度從0°至80°時制備了不同沉積角度SiO2薄膜。給出了不同角度沉積SiO2薄膜的透過率曲線，根據(jù)這些曲線，得到不同傾斜沉積角度下膜層的折射率，根據(jù)擬合的折射率，設(shè)計了折射率和厚度非連續(xù)變化的變折射率膜系，并進行了增透膜的制備。其中，在400nm-1800nm范圍內(nèi)，平均剩余反射率為0.41%，增透效果明顯，并且對于測試角度的變化體現(xiàn)出了角度不敏感的特性。變折射率制備的寬帶增透膜因其光譜范圍寬，光譜特性好，角度不敏感，在光學(xué)系統(tǒng)中有廣泛的應(yīng)用。 5v`[c+@F
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[attachment=115580] n+XLZf# 圖1. 不同沉積角度下的薄膜透過率曲線 k:qS' ^f%hhpV@ [attachment=115579] Jb (CH4|7 圖2. 增透膜在不同入射角度下的測量殘余剩余反射率曲線
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