二元光柵設(shè)計(jì)流程

i 7x7xtq   具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元光柵已成為許多光學(xué)應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。 感謝納米壓印技術(shù)，使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。 VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱為RCWA）和不同的優(yōu)化算法，為二元光柵提供了完整的用戶友好的設(shè)計(jì)工作流程，和隨后的制造誤差分析，如圓邊效應(yīng)。 %F-ZN^R   NiU2@zgl   高效偏振無關(guān)透射光柵的分析與設(shè)計(jì) X@K-^8   ha(Z<        :'~Y   我們演示了如何嚴(yán)格分析二元光柵的偏振相關(guān)特性; 以及如何優(yōu)化二元結(jié)構(gòu)以獲得高偏振無關(guān)的衍射效率。 L$IQuy   >g+?Oebgw   傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與公差分析 ~TSy<t~%-   :=wTvz        e^<