基于激光干涉儀技術(shù)的精密線性測量系統(tǒng)
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數(shù)控機床因為高精度、高效率、多功能等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于各行業(yè)中。為了保證機床的加工精度，需要用到激光干涉儀對它們做定期精度檢查，這樣才能保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量。線性測量是激光干涉儀用來檢定機床定位精度的一種常見測量。 , @(lYeD"
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線性測量構(gòu)建 F DXAe-|Q
進行線性測量需使用到“線性干涉鏡”（由分光鏡和角錐反射鏡A組 成）和“線性反射鏡”（角錐反射鏡B）。激光從SJ6000主機（激光頭）出射，通過分光 鏡后將分成兩束激光，一束激光為通過角錐反射鏡A的參考光，另一束激光為通過角錐反 射鏡B的測量光，通過移動“線性反射鏡”可實現(xiàn)運動軸的線性測量。 $FS
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線性測量原理構(gòu)建圖 [attachment=115717] Z+FJ cvYx
水平軸的線性測量示意圖 [attachment=115718] !$Nh:(>:
垂直軸的線性測量示意圖 Wc#4%kT
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SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可以輸出高精度、抗擾力強、高穩(wěn)定性的激光頻率。其線性測量可滿足(0〜80)m范圍內(nèi)的精密測量，主要應(yīng)用于測量直線導(dǎo)軌的定位精度、重復(fù) 定位精度和反向間隙等。[attachment=115719] O &;Cca
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數(shù)控機床的線性測量 [attachment=115721] s F f@>
數(shù)控機床傾斜軸的線性測量
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線性測量步驟： -I '#G D>
1、設(shè)置激光器系統(tǒng)以執(zhí)行線性測量； eUQrn>`
2、使激光束與機床的運動軸準(zhǔn)直； lfK sqe"
3、啟動自動環(huán)境補償功能，確保在軟件中輸入正確的材料膨脹系數(shù)； 9 K~X}]u
4、測量和記錄機床的線性誤差； }~y
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5、分析數(shù)據(jù)。 RMDzPda.
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注意事項 &r do Mc;
1、線性測量過程尤其是在測量與激光頭成直角的水平軸和垂直軸、斜軸的時候，光路調(diào)節(jié)困難，這時候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡。 Qw}uB$S>
2、使用光靶能簡單準(zhǔn)直激光束 'de&9\
3、在開始測量時，或者在返程測量時激光干涉儀不踩點，可能原因有： 5$d>:" >
（1）光強太弱； Z<@0~t_:?p
（2）當(dāng)返回測量時，激光干涉儀不采集數(shù)據(jù)。這時候要分析“越程”量設(shè)置是否正確，或是機床在程序運行中有沒有考慮“越程”。 VMXccT9i!
4、線性反射鏡箭頭方向就是激光進行方向，一定要正確組合線性反射鏡組。 fl9`Mgu
5、反射鏡組的一條邊棱與永磁體座盡量平行或垂直，這將為后面進行找正光源做好基礎(chǔ)。 lvY[E9I0
6、激光頭預(yù)熱時間會根據(jù)氣溫的變化而變化，所以在測量數(shù)據(jù)前要保證在激光波長穩(wěn)定后進行。 #Ipi
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