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cyqdesign

2022-12-19 21:38

上海光機(jī)所在深紫外波段高精度偏振測量方面取得進(jìn)展

中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實驗室在深紫外波段高精度偏振測量方面取得進(jìn)展。研究人員報道了一種193nm波長下退偏器的性能測量技術(shù)，通過布儒斯特楔板實現(xiàn)了193nm波長寬光束的高消光比、大分離角起偏，通過預(yù)起偏和分光設(shè)計克服了測量光源的波動影響，基于先驗的物理定律充分運(yùn)用所有測量數(shù)據(jù)顯著提升了測量精度。相關(guān)研究成果以"Performance measurement technique for 193-nm depolarizer"為題發(fā)表在Optics & Laser Technology上。