GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模

]Ze1s02(   該系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設(shè)計的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示： :Ye !w$r   `?]k{ l1R    掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣 sC'`~}C    窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔 lxx2H1([    寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣，更容易通過中繼入口瞳孔 0J9x9j`&j    部分通過旁瓣會產(chǎn)生部分解析 U i~>SN>s   /m1\