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低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成?
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repent134
2023-03-30 09:36
低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成?
成膜后破壞鍍膜表層,用擦拭液擦拭膜層延展性比較大
yzhuang
2023-03-30 09:58
這個Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧,建議150℃以上,低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想,如果想低溫成膜,高折射率材料用Ta2O5可能更好一些
y/>IF|aX
repent134
2023-03-30 10:10
主要SIO2打底層,掉膜也是掉到了基板
小時候_我很帥
2023-03-30 12:32
離子源&充氧&電子槍速率方面看下
嚶?lián)糸L空
2023-03-31 01:27
建議測一下溫度
石前林
2023-03-31 10:54
基片是否干凈,擴(kuò)散泵是否返油,第一層速率及離子源參數(shù)
u5N&W