| infotek | 2023-05-08 08:51 |
橢圓偏振分析器 橢圓偏振儀是一種光學測量方法，通常用于確定薄膜的介電特性。測量涉及確定不同波長和入射角下從樣品反射或透射時光偏振態(tài)的變化。因此，它可用于表征成分、粗糙度、厚度、結晶性能、導電性和其他材料特性。它對入射輻射與所研究材料相互作用的光學響應變化非常敏感。此用例演示了橢圓偏振儀的基本原理，并說明了 VirtualLab Fusion中內置橢圓偏振分析器的使用。 橢圓偏振儀的基本原理 當線偏振光(分解為一個偏振平行(𝐸p,i)和一個垂直于入射面(𝐸s,i)的波)與電介質相互作用時，偏振態(tài)會發(fā)生變化。從入射波和反射(或透射)波之間的相移(𝛥)，以及反射(或透射)振幅的比值(tan(𝛹))，可以推導出介質的介電特性(𝑛, 𝑘)。  橢圓偏振儀的基本原理  注意：類似的考慮適用于透射情況，但為了簡單起見，只討論反射。 將橢偏分析器加入系統(tǒng)  分析輸出  橢偏分析器可以計算光在所定義堆棧上反射或透射的結果。 該堆�？梢杂蓡蝹�或一定數(shù)量的層組成，也可以由1D或2D周期結構(光柵)組成。 分析器在計算過程中配置光學設置的方向和位置。因此，不需要配置光源的位置，光學系統(tǒng)中的探測器或光源中的偏振態(tài)。 級次選擇  對于一個層堆棧，如果沒有橫向周期性，則應選擇級次(0,0)。 如果使用光柵結構作為樣品，可以通過在x和y上定義所研究的衍射級次的指數(shù)，來選擇所考慮的衍射級次。 對于一維周期光柵，第二指數(shù)應為零。 輸出  | |