白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)與臺(tái)階儀的區(qū)別
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表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對(duì)接觸零件的機(jī)械和物理特性起著決定作用，而且對(duì)一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對(duì)表面形貌的精準(zhǔn)測(cè)量能正確地識(shí)別出加工過程的變化和缺陷，對(duì)研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進(jìn)加工方法等都有著顯著的意義。 Zo,066'+[.
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隨著微電子技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、傳感技術(shù)、信號(hào)分析和處理技術(shù)等飛速發(fā)展，對(duì)表面形貌測(cè)量精度不斷提高，從微米尺度進(jìn)入了納米甚至是亞納米尺度。臺(tái)階儀與白光干涉儀，兩者雖然都是表面微觀輪廓測(cè)量利器，但還是有所不同。 X'U~g$"(+
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1、測(cè)量方式 pp{ 2[>
（1）臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，測(cè)量時(shí)通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺(tái)移動(dòng)樣品時(shí)掃描其表面，測(cè)針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號(hào)并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點(diǎn)云信號(hào)，數(shù)據(jù)點(diǎn)云信號(hào)在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺(tái)階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。[attachment=118048] q ~^!Ck+#*
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（2）白光干涉儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)非接觸式測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。[attachment=118049] g^^pPV K_
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