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infotek 2023-05-25 08:16

VirtualLab矩形組合光柵建模

f$V']dOj1q  
建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進(jìn)行近場分析和內(nèi)部場分析 .:RoD?px  
工具箱：光柵工具箱 m !;mEBL{  
關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點列界面 近場分析 內(nèi)部場分析 O";r\Z  
組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)：
圖1：光柵參數(shù)示意圖 "cJ5Fd:*  
pJ_Z[}d)c  
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 N.eSf  
=#%e'\)a  
1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3)
(1)
m}Tu^dy  
(2)
D zDt:.JZ  
(3) !c1 E  
圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 T_AZCl4d  
JpS:}yyJ>N  
2) 雙擊 ，進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 eMz,DYa/G  
圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 {2Gp+&  
@gX@mT"  
3) 進(jìn)入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 -]'Sy$,A  
(1)
jIdhmd* $z  
(2) B0Z*YsbXL  
(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 UQW;!8J#R(  
)J#@L*  
4) 點擊 ，進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 µm，如下圖所示 fXL>L   
圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟4)示意圖  2 H^9Qd  
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