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2023-06-27 15:05 |
上海光機所在碳化硅表面飛秒激光改性提升拋光效率研究方面取得進展
近期，中國科學院上海光學精密機械研究所精密光學制造與檢測中心實驗室在碳化硅表面飛秒激光改性提升拋光效率研究方面取得進展。研究發(fā)現(xiàn)通過飛秒激光對預涂有Si粉的RB-SiC表面進行改性，能夠獲得結(jié)合強度為55.46N的表面改性層。且改性后的RB-SiC的表面僅經(jīng)過4.5小時的拋光，即可得到表面粗糙度Sq為4.45nm的光學表面，與直接研磨拋光相比，拋光效率提高了3倍以上。該研究成果拓展了RB-SiC的表面改性方法，并且激光的可控性和該方法的簡單性，使得它可以用于復雜輪廓的RB-SiC表面改性處理。相關(guān)成果發(fā)表在Applied Surface Science（《應(yīng)用表面科學》）上。 pm6>_K z
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RB-SiC作為一種碳化硅陶瓷，具有優(yōu)異的性能，已成為輕型大型望遠鏡光學部件（尤其是大尺寸和復雜形狀反射鏡）最優(yōu)秀、最可行的材料之一。但是RB-SiC作為一種典型的高硬度、復相材料，在燒結(jié)過程中液態(tài)Si與C發(fā)生化學反應(yīng)時，有15%-30%的殘余硅留在坯體中。而這兩種材料拋光性能的差異，在表面精密拋光過程中會在SiC相和Si相組分的交界處形成微臺階，容易發(fā)生衍射，不利于獲得高質(zhì)量的拋光表面，給后續(xù)的拋光帶來了巨大的挑戰(zhàn)。 =2
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