結(jié)構(gòu)深、角度大、反射差？用共聚焦顯微鏡就對(duì)啦！
隨著超精密加工技術(shù)的不斷進(jìn)步，各種微納結(jié)構(gòu)元件廣泛應(yīng)用于超材料、微電子、航空航天、環(huán)境能源、生物技術(shù)等領(lǐng)域。其中超精密3D顯微測(cè)量技術(shù)是提升微納制造技術(shù)發(fā)展水平的關(guān)鍵，中圖儀器自主研發(fā)的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測(cè)技術(shù)，廣泛應(yīng)用于涉足超精密加工領(lǐng)域的三維形貌檢測(cè)與表面質(zhì)量檢測(cè)方案。其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結(jié)構(gòu)復(fù)雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構(gòu)與檢測(cè)方面具有不俗的表現(xiàn)。[attachment=119370] ZEL/Ndk
*C5:#A0
一、結(jié)構(gòu)深、角度大 v>rqOI
電子產(chǎn)品中一些光學(xué)薄膜表面存在一些特殊的微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)表現(xiàn)為窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉儀在測(cè)量此類結(jié)構(gòu)時(shí)，由于形貌陡峭、角度大，無(wú)法形成干涉條紋信號(hào)，或條紋寬度過(guò)窄而無(wú)法準(zhǔn)確地解調(diào)出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點(diǎn)光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號(hào)解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)形狀。[attachment=119371] 6
M*b
|