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infotek 2023-09-07 08:17

反射式5×5衍射光束分束器的分析

摘要 c"`HKfL  
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K]>4*)A:  
衍射式分束器被廣泛用于光學(xué)應(yīng)用中,以產(chǎn)生規(guī)則和不規(guī)則的圖案。所應(yīng)用的衍射方法允許薄而輕的元件,但也導(dǎo)致它們對入射光線的角度高度敏感。在這個例子中,我們展示了這種效應(yīng)對給定微結(jié)構(gòu)設(shè)計的反射式5×5規(guī)則分束器的影響。該設(shè)計在正入射情況優(yōu)化,其性能在不同入射角下被評估,并計算出相應(yīng)的衍射圖案。之后,針對不同的入射角對設(shè)計進(jìn)行了優(yōu)化,例如通過改變微結(jié)構(gòu)的高度。 d1^5r 31  
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建模任務(wù) g_tEUaiK  
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微結(jié)構(gòu) at*DYZBjDB  
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反射型分光器是由Microstructure組件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。關(guān)于該組件的更多信息可以在以下欄目中找到: <R2SV=]Sq#  
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衍射光學(xué)元件(DOE)和微結(jié)構(gòu)組件 v) K|{x  
eK3d_bF+  
微結(jié)構(gòu)組件的配置 7X$pgNRx/a  
v,rKuvc'  
yswf2F  
4_CXs.v1  
- Microstructure組件由一個平面組成,在這個平面上應(yīng)用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 B=_5gZ4Y  
- 在Channel Operator的設(shè)置中,微觀結(jié)構(gòu)是由提到的Complex Surface Response定義的,要么是理想的,要么是包含真實結(jié)構(gòu)的Stack,也就是高度輪廓。 ?5pZp~  
- 在這個用例中,Sampled Grating被用來描述預(yù)期的高度輪廓,并應(yīng)用在基面的背面。 |N^8zo :  
- 用于通過堆棧傳播的精度系數(shù)可以根據(jù)具體任務(wù)進(jìn)行調(diào)整。在這個例子中,為了對表面進(jìn)行充分的采樣,使用了一個2的系數(shù)。 Y3)*MqZlF  
4|eI_u{_  
總結(jié)-組件 +]H!q W:  
!,7)ZW?*8  
|w_l~xYV)  
6(A"5B=\  
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 V2 ;?  
監(jiān)測器平面上的衍射圖案 [Q8vS