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2023-09-12 22:39 |
華科大實(shí)現(xiàn)共軛結(jié)構(gòu)光場(chǎng)晶圓圖形化缺陷探測(cè)新理論與新方法
近日，美國化學(xué)會(huì)(ACS)旗下高水平光學(xué)期刊《ACS Photonics》在線發(fā)表了華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院劉世元教授、朱金龍教授團(tuán)隊(duì)利用自定義結(jié)構(gòu)光場(chǎng)照明有圖形晶圓，實(shí)現(xiàn)集成電路中深亞波長缺陷的精確定位與分類的研究成果，該工作以“Optical Far-Field Detection of Sub-λ/14 Wide Defects by Conjugate Structured Light-Field Microscopy (c-SIM)（利用共軛結(jié)構(gòu)化光場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)光學(xué)遠(yuǎn)場(chǎng)下的亞λ/14寬缺陷檢測(cè)）”為題被選為封面論文。機(jī)械學(xué)院2022級(jí)博士生張勁松為該論文第一作者，劉世元教授、朱金龍教授為通訊作者。 T%
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