集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
1. 摘要 JZc"4qf@OT LBCat=d< 在最近的幾十年里,COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um,甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時,這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中,我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。 &@dMIJK"( O4l]Q 2. 建模任務 dE ,NG)MH OVy ZyZ#
采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
mrc% 6Ri .+.BNS 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) KV1/!r+* L5wrc4 3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) TmH'_t.*T~ G/y@`A) DrY5Q&S 8M5a&
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