| infotek |
2023-10-19 09:00 |
高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析
1. 摘要 ';x5 $5k'
JvLa@E )
高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術(shù)。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究，進而加深對矢量效應(yīng)的理解。 r \{; ~V
AyZBH &}RZ
[attachment=121414] ch}( v'xv(
TWQ{,
B
2. 建模任務(wù) V6
,59
F (:] lM|
[attachment=121415] wsfn>w?!V
~7=w,+
3. 概述 V|dKKb[Lve
5 % aT
示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 -U_<:
下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 V0
OT
| |