| infotek |
2023-10-19 09:04 |
薄元近似與FMM/RCWA
作為衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計(jì)算薄衍射元件的衍射效率時(shí)非常有效。 但在另一方面，當(dāng)衍射光柵的周期小到可以與波長(zhǎng)相比較時(shí)，這種近似將會(huì)變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進(jìn)行分析，用來(lái)比較兩種方法的結(jié)果。 l'&l!D&
l' W?X '
用于光柵建模的TEA與FMM Bo`fy/x#
&m5
| |