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infotek 2023-10-30 08:19

用于光學測量的菲索干涉儀

摘要 m]Y;c_DO:  
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斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學計量設(shè)備,它們通常用于光學表面質(zhì)量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。 &m^@9E)S/  
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圓柱面下的觀測條紋 w!^~<{ Kz  
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球面下的觀測條紋