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2023-11-08 15:30 |
傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化與容差分析
摘要 EJRkFn8XG'
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對于許多應用來說（例如背光、光學連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導結構中是一個重要的問題。對于這些應用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 luyu 7`
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設計任務 e6bh,BwgQq
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1級參數(shù)優(yōu)化 M<*WC{
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結果-容差分析 BvH?d]%
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結果-容差分析 3Pgokj
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VirtualLab Fusion一瞥 Y/"t!
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VirtualLab Fusion中的工作流程 k`A39ln7wu
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構建光柵結構 'TuaP `]<
−使用特殊材料的光柵結構設定[用例] A 0U9,M
−傾斜光柵高級設定[用例] 1_A _)l11
•光柵衍射效率分析 R&&&RI3{
−光柵階序分析器[用例] p\F%Nj,
•使用參數(shù)優(yōu)化進行光柵參數(shù)優(yōu)化 [ p~,;%
•使用參數(shù)運行的容差分析 c#"t.j<E}
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VirtualLab Fusion技術 uwr7 .\ 7
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