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小火龍果 2023-11-16 09:24

SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計(jì)的微光刻透鏡

課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計(jì)的微光刻透鏡 23+GX&Rp  
你現(xiàn)在使用的電腦有一個(gè)中央處理器，它的晶圓片是用一個(gè)非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個(gè)以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計(jì)，這將是一個(gè)好的學(xué)習(xí)例子。 CB|z{(&N  
本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子: i1G}m Yz_  
1. 鏡片數(shù)22片 H uE*jQ  
2. 物高31mm [9+M/O|Vs  
3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2 \*_a#4a  
4. 波長為UV T@Q.m.iV4  
5. 像方晶圓尺寸是12.66mm *4(.=k  
6. 總長小于1200mm $6oLiYFX;  
.)W8 U [  
這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計(jì)。首先，我們將為左半部分設(shè)計(jì)一個(gè)鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計(jì)第二個(gè)鏡片組，將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。