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2023-12-14 08:08 |
二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置
摘要 pcnl 0o~
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復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 Z&-tMai;
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1. 本案例主要說明： lY8`5Uz
如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： Yt pRy%
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- 基于介質(zhì)的定義類型 (vnoP< 0
- 基于表面的定義類型 &sdx`,
計(jì)算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 i-]U+m*
注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 F_v-}bbcFQ
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2. 光柵工具箱初始化 =DC 3a3&%
初始化 `w+1C&>^[
- 開始→ |kc @L`7s
光柵→ V 9Hl1\j^
一般光柵光路圖(3D光柵) t0.;nv @A0
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注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 xG1?F_]
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3. 光柵結(jié)構(gòu)配置
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