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半導體刻蝕工藝
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光學小新cat
2023-12-14 13:57
半導體刻蝕工藝
刻蝕技術(etching technique),是在半導體工藝,按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術?涛g技術不僅是半導體器件和集成電路的基本制造工藝,而且還應用于薄膜電路、印刷電路和其他微細圖形的加工?涛g還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。
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